您好!欢迎光临这里是您的网站名称,我们竭诚为您服务!
定制咨询热线0548-71972949

雅博体育官网下载 相册

联系我们

雅博体育官网下载 岗亭有限公司

邮 箱:admin@zaaqh.com
手 机:13534238859
电 话:0548-71972949
地 址:新疆维吾尔自治区哈密市叙永县视一大楼128号

“雅博体育官网下载 ”激光整形系统和超快激光器可提高薄膜烧蚀表现

发布时间:2021-10-11 15:30:02人气:
本文摘要:半透明导电氧化物薄膜(TCO)的激光激光一般来说用于的是纳秒调Q激光器。随着适合的非同脉冲激光系统的供应减少,制造商面对着否要投资新的激光系统以构建更高的加工质量和生产率。使用散射光学元件,例如光束整形元件和分光镜,以及现有的基于纳秒激光器的生产系统,可以提升薄膜激光的展现出,例如更高的加工质量和效率。 为了引人注目激光光束整形的优势,用Nd:YVO4二极管泵浦液体激光器(DPSSL)来加工氧化铟锡(ITO),用于了有所不同的散射平顶光束整形元件和四倍分光镜。

雅博体育官网下载

半透明导电氧化物薄膜(TCO)的激光激光一般来说用于的是纳秒调Q激光器。随着适合的非同脉冲激光系统的供应减少,制造商面对着否要投资新的激光系统以构建更高的加工质量和生产率。使用散射光学元件,例如光束整形元件和分光镜,以及现有的基于纳秒激光器的生产系统,可以提升薄膜激光的展现出,例如更高的加工质量和效率。  为了引人注目激光光束整形的优势,用Nd:YVO4二极管泵浦液体激光器(DPSSL)来加工氧化铟锡(ITO),用于了有所不同的散射平顶光束整形元件和四倍分光镜。

分解的平顶激光光束轮廓可以用小的脉间重合来展开倒数的刻线;例如以极高的刻线速度展开。分光镜是用来构建平行加工,以提高效率以及构建激光能量的可持续利用。

  薄膜激光加工  激光加工早已沦为薄膜制取中不可或缺的生产技术。特别是在是在薄膜太阳能电池加工中,由单个的沉积功能层包含的激光结构一般来说是用二极管泵浦液体激光器来已完成的,使用的是高斯光束轮廓、有所不同的波长和脉冲长度(纳秒级范围)。

激光刻线过程一般被分为P1(包含半透明导电氧化物层)、P2(在半导体吸取层上刻图)以及P3(在认识层上刻图)。    图1:高斯光束(左边)和平覆以光束(右边)对激光薄膜导致有所不同的激光展现出:激光光束轮廓的横截面(a),激光激光构成的圆形和矩形的激光脚点(b),加工的材料系统的横截面示意图(c)。  特别是在是,在表明设备、触摸屏和有机发光二极管(OLEDs)的生产中也能看到半透明导电氧化物层(TCOs)的P1刻线。

与传统方法如机械针刻或湿法化学转印有所不同,激光刻线对薄膜导致的机械形变大于,并且能避免不易引起异议的化学处置。尽管非同脉冲激光系统已被科学研究证明能构建优于的加工质量和更高的生产率,目前用作薄膜刻线的最先进设备的工业激光激光系统依然是纳秒脉冲调Q二极管泵浦液体激光器。为了更进一步提高它们的展现出,光束整形光学元件可以精彩地带入现有的生产系统中,以优化光束轮廓,以及为构建平行加工来减少输入光束。

  平顶光束轮廓改良薄膜激光  用于高斯光束轮廓的主要难题是管理感应到材料上的能量。图1说明了薄膜激光的原理。只有在激光强度多达了激光阈值的区域才不会构建几乎的激光。

任何多达此阈值的能量都可能会损毁基底材料。高斯光束轮廓两侧的能量要高于激光阈值,不会造成对周围材料产生不必须的冷却,从而导致结构受损。根据KemingDu所说,高斯光束中高达36.8%的能量被有效地用作薄层的激光。

如图1a右图,平顶光束轮廓可以明显地改良能量以给定激光阈值,主要是通过减少远超过阀值以及轮廓两侧的多余能量。因而可以防止激光刻线对下方以及附近区域的基材的潜在受损。  用于光束整形元件分解平顶光束轮廓还能带给更进一步的益处,就是有可能将圆形的激光脚点变成正方形或矩形。

雅博体育app游戏官方正版下载

一般来说情况下,用脉冲激光构成的圆形激光脚点不会使得在激光的沿路构成锯齿型图案,从而在薄膜中引发不必要的机械形变。要防止这种情况,在用于圆形的高斯光束轮廓时脉冲重合最少要低约70%。相比之下,矩形激光脚点只需十分小的重合就可以产生平的侧壁,从而提升激光微加工的加工速度。

  对有所不同的任务使用有所不同的平顶光束轮廓  接下来我们将总结用于反射和散射光束整形光学元件构成平顶光束轮廓的宝贵实践中规则。非整形光束在焦平面上的光斑直径由波长、探讨光学元件的数值孔径(NA)以及输出光束的质量来要求。

显然上来说,只有通过不断扩大光斑直径才能构建透射的再行产于,从而构成均匀分布的平顶光束轮廓。这个空间拓展的程度各不相同光束整形的特定物理方法,光束的均匀分布化有可能是在一个或两个维度中展开。  用作薄膜加工的二极管泵浦液体激光器一般来说在焦平面上表明出有散射无限大的单模高斯光束轮廓(TEM00)。根据经验法则,通过反射光束整形元件,大于的平顶光束直径(1/e2-limit)比非整形的散射无限大的TEM00光斑最少大4倍。

除了大于特征直径的容许,反射光束整形元件还能在最少1厘米的范围内分解平顶光束轮廓,也可以用作多模激光器(图2)。然而,在薄膜激光激光过程中,大的光斑直径能除去更加多材料,从而增加设备的有效地面积。

  图2:在IPG980nm光纤耦合激光器中用于反射型高斯-平顶光束整形元件分解的规整的平顶光束轮廓。激光源的光束质量:M219;数值孔径(NA)=0.005。  或者可以通过用于散射光束整形元件分解将近散射无限大的平顶光束。

每个探讨光束整形元件(FBS)可以在工作平面上产生两种有所不同的平顶光束轮廓。我们所说的零阶平顶光束只比非整形的散射无限大的TEM00光斑大1.5倍,而一阶平顶光束比非整形的散射无限大的TEM00光斑大3倍。

下面的两个公式能估计FBS光学元件零阶和一阶平顶光束的焦点直径。此外,FBS光学元件的效率很高(95%),并且分解的平顶光束轮廓具有很高的同质性(2.5%)。输出光束直径和纵向位移的典型公差约为所用光束直径的10%。

输出光束的质量应当低于M2=1.5。


本文关键词:“,雅博,体育,官网,下载,雅博体育app,”,激光,整形,系

本文来源:雅博体育官网下载 -www.zaaqh.com

0548-71972949